Optical detection of multiple modes on resonant micromachined structures

Articolo
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
MEMS; Optical measurements
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.unipv.it/handle/11571/136865
Pubblicato in:
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS
Journal