Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
RF SPUTTERING; THIN FILMS; SI-GE
Elenco autori:
Quartarone, Eliana; Magistris, Aldo; Mustarelli, Piercarlo; Marabelli, Franco; Battagliarin, M.; Turato, S.
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