Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
MEMS; Micromachining; Optical Measurements
Elenco autori:
ANNOVAZZI LODI, Valerio; Merlo, SABINA GIOVANNA; Norgia, Michele; Spinola, G; Vigna, B; Zerbini, S.
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