Neural spatial pattern recognition of defects in semiconductor manufacturing
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
4.1 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
Semiconductor manufacturing; neural networks; pattern recognition; fault detection
Elenco autori:
Pasquinetti, E.; G., Miraglia; F., Piccinini; DE NICOLAO, Giuseppe
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