An improved fabrication process for Si-detector-compatible JFETs

Articolo
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
monolithic sensors; high resistivity silicon substrate; junction field-effect transistors
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.unipv.it/handle/11571/28759
Pubblicato in:
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION A, ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT
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