Data di Pubblicazione:
2007
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
SiO2; thin films; rf sputtering; ellipsometry
Elenco autori:
Quartarone, Eliana; Mustarelli, Piercarlo; Grandi, Stefania; Marabelli, Franco; Bontempi, L.
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