Characterization of silicon microstructures by feedback interferometry.

Articolo
Data di Pubblicazione:
2002
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
MEMS; Optical measurements
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.unipv.it/handle/11571/132742
Pubblicato in:
JOURNAL OF OPTICS. A, PURE AND APPLIED OPTICS
Journal