Unsupervised spatial patterm classification of electrical-wafer-sorting maps in semiconnductor manufacturing
Articolo
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
1.1 Articolo in rivista
Keywords:
fault detection; pattern recognition; neural networks
Elenco autori:
DE NICOLAO, Giuseppe; DI PALMA, Federico; Miraglia, G.; Pasquinetti, E.; Piccinini, F.
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